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扫描电子显微镜

发布时间:2015-11-06          发布:[材料科学与工程学院]宋媛          阅读:239

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SEM

仪器中文名称

扫描电子显微镜

仪器英文名称

Scanning Electron Microscope

厂商

日本电子株式会社/捷欧路(北京)科贸有限公司

型号

JSM-IT300

购买年份

2013年

技术指标

•分辨率:二次电子像 3nm(30kV)、8nm(3kV)、15nm(1kV)

•放大倍数:x5--x300000倍

  •真空度:高真空小于10-4Pa

•加速电压:0.3--30kV,连续可调

•灯丝:预对中钨灯丝

•光阑:三级可调物镜光阑

  •自动功能:自动聚焦、自动亮度对比度、自动像散校正

  •样品台:全对中样品台,具有5轴自动马达驱动功能

  •成像模式:二次电子像、背散射电子像、信号混合图像

功能介绍

扫描电子显微镜由电子光学系统、真空系统、数据处理系统、样品室和样品台、二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪及保证仪器正常运转所需的各种附件、零部件等组成。主要用于材料科学、化学化工以及相关领域样品的微区表面形貌观察,并配合能谱仪对微区表面成分进行分析。

放置地点

测试楼125

负责人

陈淑静 敖卫华